安捷伦科技有限公司宣布,该公司对外推出一款波形发生器/快速测量单元(WGFMU),用于其B1500A半导体设备分析仪。这种分析仪能执行高速测量所需求的性能,及快速表征负偏压温度不稳定性(NBTI)及其它诸如脉冲制的IV、RTS和新型非挥发性抗干扰的内存像 PRAM/ReRAM等方面的应用。
此次推出的安捷伦B1530A WGFMU产品在设计上,是针对研究员和可靠性研究的工程师的应用而言。安捷伦B1530A WGFMU是第一款自备齐全的模块,它用于提供随机线性波发生器(ALWG)与电流或电压同步的快速测量,速度快达5ns,使其能够提供高速IV特性。该性能解决了超高速负偏压温度不稳定性的特性和大量摆在工程师和科学家们面前的下一代半导体设备的其它应用问题。
另外,作为半导体元器件几何尺寸收缩起来能低于65nm,由于是新材料、新结构和更高IC操作温度,使设备可靠性变得非常重要。在负偏压和高温情况下,负偏压温度不稳定性尤其引起重大的阈值电压漂移,使其成为关系高级半导体过程非常重要的可靠性因素之一。许多负偏压温度不稳定性研究表明,测量的阈值电压漂移取决于压和时间。因此,工程师们必须尽可能快的估测晶体管的特性。此外,由于压力的类型也会影响阈值电压降级和设备的实时估计,测量都不仅需要在直流压力之后,还要求在各种交流压力后进行。