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电视面板激光修复检测装置问世 (2005-09-23)

发布时间:2007-12-04 作者: 来源: 浏览:912
日本Laserfront Technologies公司开发成功了电视液晶面板亮点和黑点缺陷修复率接近100%的激光修复检测装置。在此前的显示器面板生产中,在TFT阵列工序的最后要进行检测和修复,但存在的问题是玻璃底板上形成的下面一层检测困难,修复率一直比较低。 此次在集成检测装置和修复装置的同时还实现了在线嵌入设计,由此就能够在TFT阵列工序中的栅极工序、源漏极工序和保护膜形成工序中,导入检测修复装置工序。这样,最先形成的层也可实现轻松检测,并提高修复率。而且,与原来相比,还提高了吞吐量。所有这些是通过将手动改为自动,并分别将定位、自动对焦和调节等的速度减小到原来一半来实现的。
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