2005年12月2日，受科技部的委托，国家质检总局在我院主持召开了“微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究”课题和其子课题“2.5维大范围纳米结构测量系统”验收会。 验收会由国家质检总局科技司王越薇处长主持。 参加验收会的有清华大学金国藩院士、 航天科技集团朱正辉研究员、北京航空航天大学周浩敏教授、科学院微电子中心张海英研究员、北京理工大学赵惠英研究员、航空工业第一集团公司304所陈晓梅高工、北京市计量检测研究院吴迅高工、中国分析测试协会汪正范教授、北京矿业研究总院符斌研究员、北京有色金属研究总院郑永章研究员共10位专家。科技部条财司张渝英处长、科技部计划司郑玉琪博士到会，我院童光球院长，科技与发展计划部相关管理部门的同志参加了验收会。 纳米技术被誉为21世纪的科学，它发展迅速、研究广泛，世界各国都投入大量人力、物力开展这个领域里的研究。 我国政府高度重视这个领域里的发展，科技部在973和863两大计划中，相继启动了有关纳米器件、纳米生物和纳米材料的重大研究项目。国家自然科学基金委员会制定了“纳米科技基础研究的重大研究计划”。国家发展与改革委员会先后建立了“国家纳米科学中心”和“国家纳米技术工程化中心”的基本建设项目。2002年国家投资开展纳米测量技术研究。2005年成立了国家纳米技术标准化委员会，并着手制定和发布与纳米科技相关的ISO标准。 但无论是纳米科学研究，还是制订纳米标准和执行纳米标准，都离不开各种权威数据作为依据。在国家科技攻关计划－重要技术标准研究专项中，2002年科技部投资500万元，建立“微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究”课题，我院重点进行“2.5维大范围纳米结构测量系统”子课题的研究工作，经过3年的努力，课题组圆满完成了任务，并全部达到了课题要求的预定技术指标。 2.5维大范围纳米结构测量系统的完成，填补了我国在大范围纳米测量仪器上的空白，作为溯源基准，实现了纳米技术中几何量量值的准确测量和量值溯源，有助于我国纳米量值传递体系的建立。通过该测量系统所传递出的纳米量值最终将会体现在纳米科学研究的实验数据中，体现在建立纳米标准时对标准的评价数据中，体现在执行标准时的测量数据中，体现在各种纳米测量仪器所显示的数值中，它的建立保证了这些数据的公平公正，准确可靠。该设备在50×50×2mm的范围内可用于大于20nm线宽传递标准、大于10nm台阶高度传递标准、大于40nm线间隔传递标准的检定测试，并具有0.1nm ～ 0.2nm的分辨率。能够广泛服务于集成电路的几何量量值传递与产品检测、电子显微镜与扫描探针显微镜的校准与检定以及各种纳米结构产品的测试服务中。我院进行的微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究，建立2.5维大范围纳米结构测量系统，使我国纳米计量得到突破性的发展。 验收组审查了课题组提交的技术资料，听取了课题负责人所作的课题研制报告和经费使用报告、测试组的测试报告，并现场参观了该测量系统。 金国藩院士看完该测量系统后说，这个课题做的很成功。美国国家标准与技术研究院(NIST)做了10年，项目仍在研究之中。我们只用了3年时间，在经费紧的情况下，做出了这个水平，这是我们的一个亮点，要做出一定的评价。 课题的创新和技术特点是： 1. 采用具有气浮工作台与气动锁紧装置的位移台做大范围位移、采用6轴纳米位移台夹持被测样板、采用快速3轴纳米台移动原子力测头，优化了系统结构，保证了测量分辨率，提高了仪器的整体计量性能。 2. 应用全空间6自由度测量控制，激光干涉仪布局做到无阿贝误差，用激光干涉仪直接读取三维位移数值，量值可直接溯源到激光波长。 3. 使用了双DSP和工控机的分布式测量控制系统，大大提高了系统的动态性能。 4. 研制的高精度温度控制系统和PTF测量系统，保证了测量准确性，提高了测量精度。 本测量系统的建立,使我国拥有了大范围、高精度的纳米测量仪器，其中的许多研究成果可以转化为产品。 它的作用和影响: 1. 作为我国纳米量值传递体系的重要技术设备和溯源基准，对纳米技术领域的计量设备进行校准、对纳米传递标准提供检定测试服务，对部分产品可进行直接测量，保证纳米几何量量值溯源与统一，有利于促进相关高新技术领域的技术转化和产业化发展。 2. 满足国际关键量比对的需求，实现我国纳米技术领域检测数据的国际互认，增强我国高新技术领域产品和技术的国际竞争实力。 3.为国家技术标准专项中涉及到纳米技术、信息技术、材料技术和先进制造等领域标准的制订实施提供必要的技术支撑。 验收组一致认为：该成果达到国际先进水平，同意通过验收。 最后专家建议，课题组在现有成果的基础上，对测量系统进一步的完善和改进，尽快投入使用，为建立我国的纳米计量传递、溯源体系提供支撑，服务于国民经济建设与科技发展。 童光球院长代表计量院、代表课题组的全体成员，对以金国藩院士为组长的验收组全体专家表示衷心感谢！并对科技部和国家质检总局领导长期不懈的支持、帮助，表示诚挚的谢意！希望各级领导、专家继续关注这个项目，使之水平得到更快提高，为国民经济和科技发展做出更多贡献。 科技部条财司张渝英处长对课题组全体成员，在经费少、时间短的情况下，做出高水平的工作，给予了高度肯定。她说，国家对为国民经济和社会发展提供支撑性服务的基础性项目，具有创新性的项目，越来越给予高度重视，政府会对这些项目继续给予支持，同时希望课题组的人员根据专家意见，继续努力，使项目尽快发挥作用。